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測試與失效分析

Testing and Failure Analysis

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3D光學顯微鏡

設備型號:DVM6
針對各類儲能業(yè)務需求,TIES力圖發(fā)展成為布局全面,面向市場,集測試分析、失效分析、資質認證、技術開發(fā)、工程放大、智能制造、高價值信息服務、高端培訓為一體的研發(fā)型企業(yè)。 聯(lián)系我們

技術參數

  1. 目鏡:視場數22mm ,10倍,帶屈光度校正;

  2.物鏡:6位或7位電動物鏡轉盤,配接32mm直徑工業(yè)物鏡;

  3.聚光鏡:復消色差光路;

  4. 調焦系統(tǒng):2-齒輪高精度電動調焦驅動器


應用范圍

形貌和微細結構成像


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掃描電子顯微鏡(SEM)
技術參數二次電子分辨率:0.8 nm (加速電壓 15 kV) (標準模式,非任何減速模式下)1.1 nm (加速電壓 1 kV)(減速模式)放大倍數:20 到 1000k         加速電壓:20-1000k電位移:±12μm(WD=8mm)光闌:4孔物鏡活動光闌系統(tǒng):內置自清潔裝置(孔徑30、50、50、100μm)探測器:低位(Lower)、高位(Upper)二次電子探測器、高位過濾背散射探頭信號選擇:二次電子像、背散射電子像、混合像快速換樣系統(tǒng):100mm直徑大樣品交換倉,換樣時間30秒真空轉移系統(tǒng):日立原裝真空轉移系統(tǒng)能譜儀:布魯克60mm2能譜應用范圍1、加速電壓減速功能,具有波長較短、像差較小、分辨力高的一系列優(yōu)點,降低樣品損傷的同時,可以獲得低電壓高分辨的圖像。2、SE/BSE信號按比例接收功能,電鏡配有低位(Lower),高位(Upper)二次電子探測器,高位過濾背散射探頭,可以通過改變透鏡內變換電極的電壓,讓檢測器捕捉到二次電子及背散射電子,以任意比例(100級)混合,達到最 佳對比度的觀察,抑制荷電、邊緣效應,從而獲得對比度最 佳的SEM像。

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X射線光電子能譜儀(XPS)
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